膜厚と屈折率の測定サービスのご案内

株式会社ユーレカは、世界初のユニークな2次元エリプソメータ（表面検査装置）であるQRシリーズとHRシリーズの2機種により、これまで、主に半導体メーカー様、フィルムメーカー様よりの200種類以上のサンプルの測定と表面解析を行ってまいりました。

QRシリーズは、サンプル面内の大域的な膜厚屈折率分布を一括測定することをコンセプトにしています。

QR400Kは、200mmウエハー全面を100μmの細かさで約30万点ずつ3回で測定します。

HRシリーズは、サンプルのミクロの膜特性を観察することをコンセプトにしています。

HR4000Kは、300mmウエハーの任意の約3mm角の箇所内の140万点を2μmの細かさで一括測定します。

測定箇所はXYステージによってスキャンします。また、結晶方位に依存するサンプルなどの場合、ステージを回転させて入射方向を変えながら測定することもできます。

このたび、HRシリーズによる有償サンプル測定サービスを開始いたしましたので、どうぞご利用ください。

【サンプルについてのご留意点 】

• 光学定数が当社のデータベースにない物質、または未知の物質の場合には、膜がついていない基板のご提供を同時にお願いする場合があります。

• お預かりするサンプルは、細心の注意を払って取り扱いますが、万一の汚染破損などが生じた際、その責を負えない場合があります。その虞があるサンプルにつきましては、事前にお申し出ください。

【お問い合わせからご検収までの流れ 】

1. お客様より、材質・膜厚などのサンプル情報やご希望測定精度などについてご提示いただきます。
2. 弊社のソフトウェアによりシュミレーションを行い、ご希望精度での測定可能性についてご回答します。
3. 測定可能の場合、弊社よりお見積もり後お客様より宅急便などでサンプルをご送付いただきます。
   なおこの間お客さまのお申し出により必要な場合秘密保持契約を結ばせていただきます。
4. 弊社にて測定、計算、解析を行います。
5. 測定データにデータ表示ソフトウェアを添付してCDROMまたはDVDにてご送付します。その際、サンプルを併せてご返却します。納期は、弊社へのサンプルの到着から通常　１週間程度です。ただし、測定サンプル、測定画面数により納期が延長する場合がございます。

• お客様にて、測定データのご確認を行っていただきます。
• 測定データに添付してご送付するデータ表示ソフトウェア（HRReader.exe）のご使用により、色変換、断面プロフィール、ヒストグラム、特定の値範囲をもつ膜厚屈折率の箇所の出力、基本統計量（測定ポイント数、平均値、分散、標準偏差）の出力、自己相関関数、屈折率と膜厚の相関分析、2次元フーリエ解析を、お客様にて行っていただくことができます。また、マウスで画面上の特定領域を指定することにより、特定領域の拡大表示とその領域に関する上記のデータを出力することができます。

• 弊社より納入後1週間以内にご検収をお願いいたします。

• 別段のお申し出がない場合、サンプルご返却の1週間後に弊社コンピュータから測定データを消去いたします。

【測定料金 】

• 大量のサンプルや大量の画面数の測定をご希望の場合、装置ご購入のためのサンプル測定をご希望の場合は、別途お見積もりいたします。　事前にご相談ください。

• 大学、研究機関向けには別途料金でのお見積もりをいたします。

サンプル測定サービスに関するご質問・ご相談などがございましたら、下記までお問い合わせください。

株式会社 ユーレカ
〒289-2166千葉県匝瑳市新7-1
TEL： 0479-74-8741
FAX：0479-74-8742
E-mail： sales@heureka.co.jp