Ellipsometer
1. 工場のラインで使用していただけます:
δ、ψの表示までリアルタイムで計測できます。
2. 卓上サイズ
3. 継承性:
BEPEのアルゴリズムとソフトウェアを継承しています。
4.1〜10μm以上の分解能
5. R.G.B.三波長での測定が可能