Product

２次元エリプソメータ BEPE
エリプソメータは薄膜の膜厚と屈折率を非接触高精度に測定する装置として、半導体や液晶などの 計測に広く使用されています。
2 次元エリプソメータは次世代のエリプソメータです。
BEPEは 世界で最も正確で、ハイスループットのエリプソメータです。

PELとは？
PEL(Parallel Ellipsometry) は、ユーレカ社が開発した高速高性能の面測定型エリプソメータです。独自のアーキテクチャとアルゴリズムによって、それ一台の中に従来の一点測定型のエリプソメータ１０万台を並列化した機能を持っています。
US Patent issued. 日本特許出願中

MFE アルゴリズムとは？
Multilayer thin Film Ellipsometry
当社が新たに開発したMFEアルゴリズムによって、従来の技術では、重要でありながら測定不可能であった材料、膜厚、膜質の測定が可能になりました。
US Patent issued. 日本特許出願中