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2次元エリプソメータ BEPE
エリプソメータは薄膜の膜厚と屈折率を非接触高精度に測定する装置として、半導体や液晶などの 計測に広く使用されています。
2 次元エリプソメータは次世代のエリプソメータです。
BEPEは 世界で最も正確で、ハイスループットのエリプソメータです。

PELとは?
PEL(Parallel Ellipsometry) は、ユーレカ社が開発した高速高性能の面測定型エリプソメータです。独自のアーキテクチャとアルゴリズムによって、それ一台の中に従来の一点測定型のエリプソメータ10万台を並列化した機能を持っています。
US Patent issued. 日本特許出願中

MFE アルゴリズムとは?
Multilayer thin Film Ellipsometry
当社が新たに開発したMFEアルゴリズムによって、従来の技術では、重要でありながら測定不可能であった材料、膜厚、膜質の測定が可能になりました。
US Patent issued. 日本特許出願中





 
Ellipsometer INDEX
What's Ellipsometer Concept
High performance 3 Machines of BEPE
BEPE series TEGウエハー
Thin oxide film SiO2/Si
Thick oxide film SOI
SOI SIMOX
SOI Lowkフォトレジスト Function of BEPESemiconductor Manufacturing process roughness and thickness