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Product
2次元エリプソメータ BEPE
エリプソメータは薄膜の膜厚と屈折率を非接触高精度に測定する装置として、半導体や液晶などの
計測に広く使用されています。
2 次元エリプソメータは次世代のエリプソメータです。
BEPEは 世界で最も正確で、ハイスループットのエリプソメータです。
PELとは?
PEL(Parallel Ellipsometry)
は、ユーレカ社が開発した高速高性能の面測定型エリプソメータです。独自のアーキテクチャとアルゴリズムによって、それ一台の中に従来の一点測定型のエリプソメータ10万台を並列化した機能を持っています。
US Patent issued.
日本特許出願中
MFE アルゴリズムとは?
Multilayer thin Film Ellipsometry
当社が新たに開発したMFEアルゴリズムによって、従来の技術では、重要でありながら測定不可能であった材料、膜厚、膜質の測定が可能になりました。
US Patent issued.
日本特許出願中
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Ellipsometer INDEX
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