完全固体化光源２次元分光エリプソメータ

　物質の屈折率である光の波長領域での電子分極は入射光の周波数に依存するので（分散関係）、光源の波長を変化させて屈折率を 測定できることが望まれます。　しかし、サンプルの反射率、分光測定に使用される光源、センサーの感度のいずれも波長特性を持っています。分光測定で通常 使われているハロゲンランプ、タングステンランプ、Ｄ２ランプなどの光強度は波長によって大きく変化し、ノイズ、ゆらぎ、温度依存性、経時変化も大きく、 測定波長によっては光強度が極めて弱くなります。この結果、単一光源で多波長の同時測定を行った場合、波長によって測定精度はそれぞれ一定ではありませ ん。

　ユーレカは今回、完全固体化光源を開発いたしました。その固体化光源は、光量×反射率×センサー感度が波長にかかわらずほぼ一定になるように光源をコントロールできます。それによって、ＣＣＤのダイナミックレンジを十分に使った精度のよい１，４００，０００点同時測定を多波長で行うことができます。ユーレカはこれまでの分光エリプソメータの測定精度を制約していた光源の問題を解決した完全固体化光源２次元分光エリプソメータ をご提供いたします。