QR120K測定データ 本文へジャンプ
TEGウエハーの測定データ

 Si基板上にシリコン酸化膜を形成したTEGウエハーです。6mm角から0.5mm角の大きさと膜厚の異なる正方形が配置されています。
 このように、形状や膜厚がことなるパターンが形成されているサンプルを同時に一括で測定できます。
測定結果は
1ポイントごとのデータとして出力され、さまざまな画像処理やデータ解析を行うことができます。

 測定精度に関する注釈

 1.測定パターンの細かさと測定領域とは相反的な関係です。本データは200mmウエハーを一括で測定できるQR120Kによるもので、0.3mm以下の分解能では測定できません。