歪みSOIの2次元エリプソメータによる測定データです。　
　２次元エリプソメーターによって、世界で始めて観測されたこのパターンは何を意味しているのでしょうか？
　上図はＳＯＩ（7μm）／ＢＯＸ（２μm）／Ｓｉ、下図はＳＯＩ（10μm）／ＢＯＸ（4μm）／Ｓｉの構成です。
　ここにあらわれている縞模様が膜厚ムラなどの幾何学的原因によるものではないことは確認されています。エリプソメトリイによる解析では、上図では主にＳＯＩ層の屈折率（密度などの関数）に不均一性が存在しています。下図ではＳＯＩとＢＯＸとの界面に歪が集中しているのではないかと想像されています。